本发明公开一种密致四面体颗粒In2O3的导电薄膜及其制备方法,该材料是在抛光过的Ti板表面,通过磁控溅射技术制备出大面积的密致韧性,平整有序的In2O3导电薄膜;该薄膜材料具有良好的导电性能、光透过率与力学特性,可作为新型的导电薄膜或薄膜生物传感器等器件进行大批量生产。
商品类型 | 专利 | 申请号 | 201510163327.5 | IPC分类号 | |
专利类型 | 发明 | 法律状态 | 有权 | 技术领域 | |
交易方式 | 技术转让 | 专利状态 | 已授权 | 专利权人 |
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