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两者均涉及磁控溅射技术的应用,用户需求聚焦于工艺参数调控以实现氧化铜膜层制备,而该需求旨在引入磁控溅射设备并优化镀膜工艺。在靶材选择、气压控制、溅射功率等核心参数的优化方向上具有高度技术关联性。
磁控溅射设备引入
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两者均涉及薄膜沉积设备研发,用户需求关注磁控溅射工艺参数与薄膜物相控制,而该需求强调沉积速率、均匀性及设备兼容性。在真空工艺、温度场调控及薄膜附着性等技术指标上存在共性。
单次成膜厚于4µm的氧化硅薄膜沉积设备研发
面议
两者均涉及铜基材料的薄膜制备技术,用户需求通过磁控溅射实现氧化铜膜层,而该需求通过磁控溅射结合电镀制备复合铜箔。在铜靶材应用、沉积速率优化及薄膜结构调控方面存在技术交叉。
复合铜箔制造系统装备关键技术
面议
两者均涉及金属薄膜涂覆技术,用户需求通过磁控溅射调控薄膜物相与沉积速率,而该需求强调涂层均匀性与生产效率。在薄膜附着性、沉积速率优化等工艺目标上具有相似性。
强化金属薄膜涂覆装置的研发
面议
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